张卫
发表时间:2014-05-19 阅读次数:2752次
张卫:
  中心常务副主任,
  集成电路新器件工程部负责人
  教授、博士生导师,复旦大学微电子学院副院长。现任国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项总体组专家、上海市科学技术预见专家、复旦-Novellus互连研究中心主任。曾为德国洪堡基金会洪堡学者。主要研究方向是集成电路工艺、微细加工技术和半导体器件。2002年获得教育部科技进步二等奖,2004年获教育部新世纪优秀人才称号,2013年获批教育部创新团队。

 

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